(1)水汽引起設(shè)備化學(xué)腐蝕。在常溫下SF6氣體穩(wěn)定性極好，當(dāng)溫度低于500℃時(shí)一般不會(huì)自行分解，但當(dāng)SF6氣體中含有水汽時(shí)，溫度高于200℃就可能產(chǎn)生水解反應(yīng)，生成HF和S02，SF6氣體在電弧作用下發(fā)生自分解反應(yīng)，與水汽發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)生腐蝕性HF、H2S03，使設(shè)備內(nèi)部零件的表面腐蝕。
(2)化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)物固體粉塵，會(huì)降低滅弧室擊穿電壓。在電弧作用下，SF6氣體與電極材料金屬銅和鎢蒸氣發(fā)生反應(yīng)，生成金屬氟化物和低氟化物，與水汽反應(yīng)生成物W03和CuF2呈粉末狀態(tài)沉積在滅弧室內(nèi)。粉塵若沉積在電極表面將會(huì)降低滅弧室擊穿電壓。
(3)水汽的存在會(huì)降低絕緣子表面閃絡(luò)電壓。SF6氣體本身含有一定的水汽，設(shè)備密封處也會(huì)滲入水汽。除了使固體絕緣子的絕緣強(qiáng)度降低外，還會(huì)因溫度降低時(shí)，可能在設(shè)備內(nèi)部結(jié)露，附著在絕緣子和設(shè)備內(nèi)零件表面，大大降低絕緣子表面的閃絡(luò)電壓。
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