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用SF6氣體檢漏儀有四種:紫外電離、電子捕獲、真空高頻電離及負(fù)電暈放電,電子捕獲測試儀靈敏度高于穩(wěn)定性好,但價格昂貴,氣源要求高;紫外電離和負(fù)電暈放電檢測儀靈敏度適中,穩(wěn)定性較好,但負(fù)電暈放電檢測儀準(zhǔn)確性較差,價格低;真空管高頻電離測量范圍寬、靈敏度高、但測量誤差大,只能作定性半定量使用,且體積大、穩(wěn)定性時間長。
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